ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳಲ್ಲಿನ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳು

ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ವಿನ್ಯಾಸವು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾದ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದಲ್ಲಿ, ಬೆಳಕಿನ ಮೂಲದಿಂದ ಹೊರಸೂಸಲ್ಪಟ್ಟ ಬೆಳಕಿನ ಕಿರಣವನ್ನು ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸಲು ಮತ್ತು ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಮಾದರಿಯನ್ನು ಬಹಿರಂಗಪಡಿಸಲು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನಲ್ಲಿ ಅದನ್ನು ಪ್ರಕ್ಷೇಪಿಸಲು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಕಾರಣವಾಗಿದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಲ್ಲಿ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳ ವಿನ್ಯಾಸ ಮತ್ತು ಆಪ್ಟಿಮೈಸೇಶನ್ ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಪ್ರಮುಖ ಮಾರ್ಗವಾಗಿದೆ. ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಕೆಲವು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳು ಈ ಕೆಳಗಿನಂತಿವೆ:

ಪ್ರೊಜೆಕ್ಷನ್ ಉದ್ದೇಶ
01 ಪ್ರೊಜೆಕ್ಷನ್ ಉದ್ದೇಶವು ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಅಂಶವಾಗಿದೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಪೀನ ಮಸೂರಗಳು, ಕಾನ್ಕೇವ್ ಲೆನ್ಸ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರಿಸ್ಮ್‌ಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಂತೆ ಮಸೂರಗಳ ಸರಣಿಯನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ.
02 ಮುಖವಾಡದ ಮೇಲಿನ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಮಾದರಿಯನ್ನು ಕುಗ್ಗಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ನೊಂದಿಗೆ ಲೇಪಿತವಾದ ವೇಫರ್ ಮೇಲೆ ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸುವುದು ಇದರ ಕಾರ್ಯವಾಗಿದೆ.
03 ಪ್ರೊಜೆಕ್ಷನ್ ಉದ್ದೇಶದ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯು ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ಮತ್ತು ಇಮೇಜಿಂಗ್ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಮೇಲೆ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪ್ರಭಾವವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ

ಕನ್ನಡಿ
01 ಕನ್ನಡಿಗಳುಬೆಳಕಿನ ದಿಕ್ಕನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಲು ಮತ್ತು ಸರಿಯಾದ ಸ್ಥಳಕ್ಕೆ ನಿರ್ದೇಶಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
02 EUV ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳಲ್ಲಿ, ಕನ್ನಡಿಗಳು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಪ್ರಮುಖವಾಗಿವೆ ಏಕೆಂದರೆ EUV ಬೆಳಕನ್ನು ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ಸುಲಭವಾಗಿ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳಲಾಗುತ್ತದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರತಿಫಲನವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಕನ್ನಡಿಗಳನ್ನು ಬಳಸಬೇಕು.
03 ರಿಫ್ಲೆಕ್ಟರ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯು ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಮೇಲೆ ಉತ್ತಮ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.

ಶೋಧಕಗಳು
01 ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುವ, ಬೆಳಕಿನ ಅನಗತ್ಯ ತರಂಗಾಂತರಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
02 ಸೂಕ್ತವಾದ ಫಿಲ್ಟರ್ ಅನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡುವ ಮೂಲಕ, ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ತರಂಗಾಂತರದ ಬೆಳಕು ಮಾತ್ರ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರವನ್ನು ಪ್ರವೇಶಿಸುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.

ಪ್ರಿಸ್ಮ್ಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ಘಟಕಗಳು
ಹೆಚ್ಚುವರಿಯಾಗಿ, ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರವು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಪ್ರಿಸ್ಮ್‌ಗಳು, ಧ್ರುವೀಕರಣಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳಂತಹ ಇತರ ಸಹಾಯಕ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಸಹ ಬಳಸಬಹುದು. ಈ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳ ಆಯ್ಕೆ, ವಿನ್ಯಾಸ ಮತ್ತು ತಯಾರಿಕೆಯು ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸಂಬಂಧಿತ ತಾಂತ್ರಿಕ ಮಾನದಂಡಗಳು ಮತ್ತು ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾಗಿ ಅನುಸರಿಸಬೇಕು.

ಸಾರಾಂಶದಲ್ಲಿ, ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುವ ಗುರಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಮೈಕ್ರೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉದ್ಯಮದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ. ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ನಿರಂತರ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯೊಂದಿಗೆ, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳ ಆಪ್ಟಿಮೈಸೇಶನ್ ಮತ್ತು ನಾವೀನ್ಯತೆಯು ಮುಂದಿನ ಪೀಳಿಗೆಯ ಚಿಪ್‌ಗಳ ತಯಾರಿಕೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.

ಹೆಚ್ಚಿನ ಒಳನೋಟಗಳು ಮತ್ತು ತಜ್ಞರ ಸಲಹೆಗಾಗಿ, ನಮ್ಮ ವೆಬ್‌ಸೈಟ್‌ಗೆ ಭೇಟಿ ನೀಡಿhttps://www.jiujonoptics.com/ನಮ್ಮ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು ಮತ್ತು ಪರಿಹಾರಗಳ ಕುರಿತು ಇನ್ನಷ್ಟು ತಿಳಿದುಕೊಳ್ಳಲು.