ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳು

ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ವಿನ್ಯಾಸವು ಅರೆವಾಹಕ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಫೋಟೊಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದಲ್ಲಿ, ಬೆಳಕಿನ ಮೂಲದಿಂದ ಹೊರಸೂಸುವ ಬೆಳಕಿನ ಕಿರಣವನ್ನು ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸಲು ಮತ್ತು ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಮಾದರಿಯನ್ನು ಬಹಿರಂಗಪಡಿಸಲು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗೆ ಪ್ರಕ್ಷೇಪಿಸುವ ಜವಾಬ್ದಾರಿಯನ್ನು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಹೊಂದಿದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಫೋಟೊಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಲ್ಲಿನ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳ ವಿನ್ಯಾಸ ಮತ್ತು ಆಪ್ಟಿಮೈಸೇಶನ್ ಫೋಟೊಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಒಂದು ಪ್ರಮುಖ ಮಾರ್ಗವಾಗಿದೆ. ಫೋಟೊಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಕೆಲವು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳು ಈ ಕೆಳಗಿನಂತಿವೆ:

ಪ್ರೊಜೆಕ್ಷನ್ ಉದ್ದೇಶ
01 ಪ್ರೊಜೆಕ್ಷನ್ ಆಬ್ಜೆಕ್ಟಿವ್ ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಅಂಶವಾಗಿದೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಪೀನ ಮಸೂರಗಳು, ಕಾನ್ಕೇವ್ ಮಸೂರಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರಿಸ್ಮ್‌ಗಳು ಸೇರಿದಂತೆ ಮಸೂರಗಳ ಸರಣಿಯನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ.
02 ಇದರ ಕಾರ್ಯವೆಂದರೆ ಮುಖವಾಡದಲ್ಲಿನ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಮಾದರಿಯನ್ನು ಕುಗ್ಗಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಅದನ್ನು ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಲೇಪಿತವಾದ ವೇಫರ್‌ನ ಮೇಲೆ ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸುವುದು.
03 ಪ್ರೊಜೆಕ್ಷನ್ ಉದ್ದೇಶದ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದ ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್ ಮತ್ತು ಇಮೇಜಿಂಗ್ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಮೇಲೆ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪ್ರಭಾವ ಬೀರುತ್ತದೆ

ಕನ್ನಡಿ
01 ಕನ್ನಡಿಗಳುಬೆಳಕಿನ ದಿಕ್ಕನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಲು ಮತ್ತು ಅದನ್ನು ಸರಿಯಾದ ಸ್ಥಳಕ್ಕೆ ನಿರ್ದೇಶಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
02 ಇಯುವಿ ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳಲ್ಲಿ, ಕನ್ನಡಿಗಳು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಮುಖ್ಯವಾದುದು ಏಕೆಂದರೆ ಇಯುವಿ ಬೆಳಕನ್ನು ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ಸುಲಭವಾಗಿ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳಲಾಗುತ್ತದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರತಿಫಲನ ಹೊಂದಿರುವ ಕನ್ನಡಿಗಳನ್ನು ಬಳಸಬೇಕು.
03 ಪ್ರತಿಫಲಕದ ಮೇಲ್ಮೈ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯು ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಮೇಲೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.

ಕಸಾಯಿಖಾನೆ
ಬೆಳಕಿನ ಅನಗತ್ಯ ತರಂಗಾಂತರಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು 01 ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.
02 ಸೂಕ್ತವಾದ ಫಿಲ್ಟರ್ ಅನ್ನು ಆರಿಸುವ ಮೂಲಕ, ಒಂದು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ತರಂಗಾಂತರದ ಬೆಳಕು ಮಾತ್ರ ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಕ್ಕೆ ಪ್ರವೇಶಿಸುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು.

ಪ್ರಿಸ್ಮ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ಘಟಕಗಳು
ಇದಲ್ಲದೆ, ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರವು ಪ್ರಿಸ್ಮ್‌ಗಳು, ಧ್ರುವೀಕರಣಕಾರರು ಮುಂತಾದ ಇತರ ಸಹಾಯಕ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಸಹ ಬಳಸಬಹುದು. ಈ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳ ಆಯ್ಕೆ, ವಿನ್ಯಾಸ ಮತ್ತು ತಯಾರಿಕೆಯು ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸಂಬಂಧಿತ ತಾಂತ್ರಿಕ ಮಾನದಂಡಗಳು ಮತ್ತು ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾಗಿ ಅನುಸರಿಸಬೇಕು.

ಸಂಕ್ಷಿಪ್ತವಾಗಿ ಹೇಳುವುದಾದರೆ, ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳ ಅನ್ವಯವು ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನಾ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುವ ಗುರಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಮೈಕ್ರೋಎಲೆಕ್ಟ್ರೊನಿಕ್ಸ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉದ್ಯಮದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ. ಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ನಿರಂತರ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯೊಂದಿಗೆ, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳ ಆಪ್ಟಿಮೈಸೇಶನ್ ಮತ್ತು ಆವಿಷ್ಕಾರವು ಮುಂದಿನ ಪೀಳಿಗೆಯ ಚಿಪ್‌ಗಳ ತಯಾರಿಕೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.

ಹೆಚ್ಚಿನ ಒಳನೋಟಗಳು ಮತ್ತು ತಜ್ಞರ ಸಲಹೆಗಾಗಿ, ನಮ್ಮ ವೆಬ್‌ಸೈಟ್‌ಗೆ ಭೇಟಿ ನೀಡಿhttps://www.jiujonoptics.com/ನಮ್ಮ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು ಮತ್ತು ಪರಿಹಾರಗಳ ಬಗ್ಗೆ ಇನ್ನಷ್ಟು ತಿಳಿದುಕೊಳ್ಳಲು.