ತಲಾಧಾರ:B270
ಆಯಾಮದ ಸಹಿಷ್ಣುತೆ: -0.1ಮಿಮೀ
ದಪ್ಪ ಸಹಿಷ್ಣುತೆ: ±0.05 ಮಿಮೀ
ಮೇಲ್ಮೈ ಸಮತಲತೆ:1(0.5)@632.8nm
ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟ: 40/20
ಸಾಲಿನ ಅಗಲ:0.1mm & 0.05mm
ಅಂಚುಗಳು:ನೆಲ, 0.3 ಮಿಮೀ ಗರಿಷ್ಠ.ಪೂರ್ಣ ಅಗಲ ಬೆವೆಲ್
ದ್ಯುತಿರಂಧ್ರವನ್ನು ತೆರವುಗೊಳಿಸಿ: 90%
ಸಮಾನಾಂತರತೆ:<5”
ಲೇಪನ:Tಜಿ0.5%@200-380nm,
ಟಿ>80%@410±3nm,
FWHMಜಿ6nm
ಟಿಜಿ0.5%@425-510nm
ಆರೋಹಣ:ಹೌದು