ತಲಾಧಾರ:B270
ಆಯಾಮದ ಸಹಿಷ್ಣುತೆ:-0.05 ಮಿಮೀ
ದಪ್ಪ ಸಹಿಷ್ಣುತೆ:±0.1mm
ಮೇಲ್ಮೈ ಸಮತಲತೆ:1 (0.5)@632.8nm
ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟ:40/20 ಅಥವಾ ಉತ್ತಮ
ಅಂಚುಗಳು:ನೆಲ, 0.1-0.2ಮಿ.ಮೀ. ಪೂರ್ಣ ಅಗಲ ಬೆವೆಲ್
ದ್ಯುತಿರಂಧ್ರವನ್ನು ತೆರವುಗೊಳಿಸಿ:95%
ಲೇಪನ:ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಲೇಪನ, R>99.9%@ಗೋಚರ ತರಂಗಾಂತರ, AOI=38°